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Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵,nXDS 泵在其他渦旋泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行優(yōu)化,提高了抽速,獲得了更高極限真空、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對(duì)可冷凝蒸汽(包括水、溶劑、稀酸和堿)進(jìn)行抽真空。nXDS 泵還采用了新的端面密封技術(shù),顯著延長(zhǎng)了端面密封條更換的時(shí)間間隔。
愛德華Edwards nXDS-C是改進(jìn)型,更適用于水蒸氣以及某些具有腐蝕性物質(zhì)的應(yīng)用。這個(gè)耐化學(xué)腐蝕的版本是基于Chemraz內(nèi)閥以及不銹鋼材料。nXDS-R型不帶氣鎮(zhèn)因此它不能被突然打開。它可應(yīng)用于稀有氣體的再循環(huán)或者氣體回收。
產(chǎn)品特點(diǎn):
* 溫控風(fēng)扇:可以在低負(fù)載條件下降低風(fēng)扇轉(zhuǎn)速,從而使噪聲降至僅 52 dB(A)。
* 軸承罩:可確保將制程氣體與軸承潤(rùn)滑劑相分離,以確保清潔的真空環(huán)境,并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤(rùn)滑劑中,從而延長(zhǎng)軸承的使用壽命。
* 變頻器驅(qū)動(dòng):全球范圍內(nèi)泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自動(dòng)電壓調(diào)整特性,從而有助于打造很好的用戶體驗(yàn)。
* 渦旋盤經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì)后:轉(zhuǎn)速提高,極限真空比一代提高一個(gè)數(shù)量級(jí),低到極限壓力僅為7 x 10-3mbar。
* 經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì)的端面密封技術(shù):使得使用壽命發(fā)生顯著變化,就大多數(shù)應(yīng)用而言,典型的端面密封條使用壽命達(dá)到 2 年以上。
* 高流量氣鎮(zhèn)特性:可實(shí)現(xiàn)高到 220 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。
產(chǎn)品應(yīng)用:
一般清潔泵送應(yīng)用,電子掃描顯微鏡-SEM,射束線和高能物理,前級(jí)渦輪泵,覆層,低溫學(xué),脫氣/硫化-油,環(huán)氧樹脂,蒸餾/萃取/過(guò)濾,冷凍干燥,熔爐,凝膠體干燥,實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空,激光、氣體回收和再循環(huán),氦檢漏儀,負(fù)載鎖和傳輸腔,稀有氣體再循環(huán),稀有氣體回收,冷凍制造,研發(fā),旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器,SEM/FIB(離子束維修),溶劑回收,表面科學(xué)儀器。
Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵——技術(shù)數(shù)據(jù)
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