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Edwards愛德華VIV電磁隔離閥是一種高流導(dǎo)（11–126 l/s）、快速動(dòng)作（<0.1 s）的高真空隔離閥。它可用于防止蒸汽或顆粒從前級(jí)泵反流回工藝腔體，并且在電源故障時(shí)，能夠防止工藝腔體破空。單向交流電壓和24 V直流電壓可供選擇，適用于大多數(shù)應(yīng)用。

可推薦使用VIV閥的前級(jí)泵有nXDS、XDS、nXLi和nXRi等干式前級(jí)泵。當(dāng)VIV閥關(guān)閉時(shí)，前級(jí)泵能夠an全破空。當(dāng)前級(jí)泵停止或被停止時(shí)，VIV閥能夠保護(hù)工藝腔體不被破空。當(dāng)前級(jí)泵重新啟動(dòng)時(shí)，當(dāng)VIV閥內(nèi)的壓力下降（<200 mbar）時(shí)，閥門將緩慢（<15 s）打開，從而將任何壓力突然變化的影響降至低。

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